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硅片是半導體和光伏領域的主要生產材料。硅片多線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術,它不同于傳統的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進的激光切割和內圓切割,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過十幾個導

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線輪的引導,在主線輥上形成一張線網,而待加工玛丽亚的诱惑 qvod,19bbb15ddd,电影安塔芮丝在线播放工件通過工作臺的下降實現工件的進給。硅片多線切割技術與其他技術相比有:效率高,產能高,精度高等優點。是目前采用最廣泛的硅片切割技術。

多線切割技術是硅加工行業、太陽能光伏行業內的標志性革新,它替代了原有的內圓切割設備,所切晶片與內圓切片工藝相比具有彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,總厚度公差(TTA)離散性小,刃口切割損耗小,表面損傷層淺,晶片表面粗糙度小等等諸多優點。

太陽能硅片的線切割機理就是機器導輪在高速運轉中帶動鋼線,從而由鋼線

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將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區,在鋼線的高速運轉中與壓在線網上的工件連續發生摩擦完成切割的過程。玛丽亚的诱惑 qvod,19bbb15ddd,电影安塔芮丝在线播放

在整個切割過程中,對硅片的質量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進給速度等。

一、切割液(PEG)的粘度

由于在整個切割過程中,碳化硅微粉是懸浮在切割液上而通過鋼線進行切割的,所以切割液主要起懸浮和冷卻的作用。

1、切割液的粘度是碳化硅微粉懸浮的重要保證。由于不同的機器開發設計的系統思維不同,

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因而對砂漿的粘度也不同,即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士線切割機要求切割液的粘度不低于55,而NTC要求22-25,安永則低至18。只有符合機器要求的切割標準的粘度,才能在切割的過程中保證碳化硅微粉的均勻懸浮分布以及砂漿穩定地通過砂漿管道隨鋼線進入切割區。由于線切割機可以根據用戶的要求進行單向走線和雙向走線,因而兩種情況下對線速的要求也不同。單向走線時,鋼線始終保持一個速度運行(MB和HCT可以根據切割情況玛丽亚的诱惑 qvod,19bbb15ddd,电影安塔芮丝在线播放在不同時間作出手動調整),這樣相對來說比較容易控制。目前單向走線的操作越來越少,僅限于MB和HCT機器。



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